中微半导体业绩说明会亮点频现，展现强劲发展动能

    在 5 月 27 日于临港基地召开的 2024 年度暨 2025 年第一季度业绩说明会上，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称 “中微公司”）展现出在半导体设备领域的强劲发展势头，多项数据与规划引发广泛关注。

    亮点摘要：

    公司累计已有超过6000台等离子和化学薄膜的反应台，在国内外137条生产线实现量产和大规模重复性销售。

    公司研发新产品的速度显著加快，过去通常需要三到五年开发一款新设备，现在只需两年或更短时间就能开发出有竞争力的新设备，并顺利进入市场。

    公司在过去13年保持营业收入年均增长大于35%、近四年营业收入年均增长大于40%的基础上，2024年营业收入又同比增长约44.73%。

    中微公司聚焦提高劳动生产率，在2022年达到人均销售350万元的基础上，2024年人均销售超过了400万元，达到了设备产业国际先进水平。

    中微公司在上海临港新片区建造的18万平米新的研发和生产基地，2024年第一年实现量产，就达到年生产总值85亿人民币。

    南昌中微在高新区建造的14万平米的生产和研发基地，在2024年达到了年生产总值61亿人民币。

    中微公司10万平米的总部双塔大楼，今年底将在临港滴水湖建成。

中微公司董事长兼总经理尹志尧博士分享业绩亮点

    中微公司在营收增长方面成绩斐然。2024 年，公司实现营业收入 90.65 亿元，同比增长 44.73%，延续了近四年营收年均增幅大于 40% 的高速增长态势；归属于上市公司股东的扣非净利润约 13.88 亿元，同比增长 16.51% ，主营业务盈利能力稳步提升。进入 2025 年，公司业绩增长态势依旧强劲，一季度营业收入达到 21.73 亿元，较上年同期的 16.05 亿元增长 35.40% 。​

    中微公司在设备研发与市场应用方面成果显著。目前，公司累计已有超过 6000 台等离子和化学薄膜的反应台，在国内外 137 条生产线实现量产和大规模重复性销售 。其中，刻蚀设备作为核心业务表现尤为突出，2024 年刻蚀设备收入约 72.77 亿元，同比增长约 54.73% ，近四年收入年均增长超过 50% 。中微公司的 CCP（电容耦合等离子体）高能等离子体刻蚀设备和 ICP（电感耦合等离子体）低能等离子体刻蚀设备已覆盖国内 95% 以上的刻蚀应用需求，并成功在 5 纳米及更先进制程的国际领先产线中实现规模量产 。此外，公司为先进存储器件和逻辑器件开发的六种 LPCVD 薄膜设备已顺利进入市场，2024 年收到约 4.76 亿元批量订单，实现销售收入约 1.56 亿元 。​

    在研发能力提升上，中微公司取得了重大突破。公司研发新产品的速度显著加快，董事长兼总经理尹志尧表示，过去通常需要三到五年开发一款新设备，如今仅需两年甚至更短时间就能开发出有竞争力的新设备并顺利推向市场 。目前，公司在研项目涵盖六大类、超 20 款新设备，包括新一代 CCP 高能等离子体刻蚀设备、ICP 低能等离子体刻蚀设备、晶圆边缘刻蚀设备、LPCVD 及 ALD 薄膜设备、硅和锗硅外延 EPI 设备、新一代等离子体源的 PECVD 设备和电子束量检测设备等 。2024 年，公司研发投入达 24.52 亿元，同比增长 94.31%，占营业收入比例约 27.05% ；2025 年第一季度，研发投入同比增长 90.53% 至 6.87 亿元 。​

    劳动生产率方面，中微公司同样表现出色。在 2022 年人均销售 350 万元的基础上，2024 年人均销售超过了 400 万元，达到了设备产业国际先进水平 。​

    在产业布局与产能建设上，中微公司动作频频。位于上海临港新片区的 18 万平米新研发和生产基地，2024 年第一年实现量产，生产总值便达到 85 亿人民币 ；南昌中微在高新区建造的 14 万平米生产和研发基地，2024 年生产总值达 61 亿人民币 。不仅如此，中微公司 10 万平米的总部双塔大楼将于今年底在临港滴水湖建成 。为更好贴近客户，满足未来十年众多新产品研发和产能高速增长的需求，中微公司计划在广州增城区及成都高新区建造生产和研发基地 。​

    在泛半导体领域，中微公司的 MOCVD（金属有机化学气相沉积）设备持续领跑全球市场，占据氮化镓基 LED 照明设备 80% 以上份额，并加速向碳化硅功率器件、Micro - LED 等新兴领域拓展 。同时，中微公司通过投资和并购推动自身发展，自上市以来已投资 30 多家产业链上下游企业，实现了良好的经济效益和战略协同效果，其中 8 家参股投资公司已完成 A 股挂牌上市 。​

    面对全球半导体产业新一轮发展机遇，如人工智能、云计算、自动驾驶等领域快速发展推动芯片制造向更先进制程演进，中微公司正凭借自身技术优势、高效研发能力、合理产业布局，向着 2035 年成为全球第一梯队半导体设备公司的目标大步迈进，有望在全球半导体设备市场中占据更为重要的地位 。